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(ALD)原子層沉積設(shè)備制造理想之選-西特Model730真空計(jì)

  (ALD)原子層沉積設(shè)備制造理想之選-西特Model730真空計(jì)。ALD--Atomic Layer Deposition 原子層沉積,是在基底材料表面制備原子級(jí)別的沉積層. 而ALD關(guān)鍵技術(shù)需要**控制工藝的環(huán)境參數(shù),其反應(yīng)器壓力需要嚴(yán)格保持在合適的真空條件下,此時(shí)通過對(duì)反應(yīng)物的時(shí)序脈沖噴射,才能達(dá)到準(zhǔn)確沉積的效果。借助于Setra(西特)在電容式壓力測(cè)量領(lǐng)域逾50年的經(jīng)驗(yàn)積累, 730型真空電容式壓力計(jì)無(wú)論從產(chǎn)品設(shè)計(jì)、制造工藝、品質(zhì)管理,還是從成本控制等諸多方面,都是ALD設(shè)備制造商的理想之選。

    Setra(西特)730型真空電容式壓力計(jì)是一款高精度的電容式壓力計(jì)(亦稱電容式膜片真空計(jì) (CDG)),(ALD)原子層沉積設(shè)備制造理想之選-西特Model730真空計(jì)-適合在光伏、半導(dǎo)體和工業(yè)市場(chǎng)中測(cè)量對(duì)過程控制至關(guān)重要的低真空范圍。該產(chǎn)品讀數(shù)精度達(dá)±0.5%,分辨率高,優(yōu)于同類產(chǎn)品。730 型使用全I(xiàn)nconelTM 接液材料,可承受半導(dǎo)體加工過程中的腐蝕性介質(zhì)。由于采用直接測(cè)量設(shè)計(jì),它能**測(cè)量介質(zhì),不受應(yīng)用中氣體混合物成分的影響。

   (ALD)原子層沉積設(shè)備制造理想之選-(ALD)原子層沉積設(shè)備制造理想之選-西特Model730真空計(jì)特點(diǎn):適合苛刻應(yīng)用的高性能產(chǎn)品采用單膜片可變電容感應(yīng)元件,適用于苛刻的半導(dǎo)體和工業(yè)真空應(yīng)用。它具有讀數(shù)精度和分辨率高、動(dòng)態(tài)范圍寬的特點(diǎn),使之成為關(guān)鍵制造過程中的理想選擇。Inconel® 設(shè)計(jì)保證通用性 確保730型在這類應(yīng)用中的長(zhǎng)使用壽命。直接壓力測(cè)量?jī)?nèi)置膜片可在使用點(diǎn)直接測(cè)量壓力變化。與其他工業(yè)電容式壓力計(jì)不同,(ALD)原子層沉積設(shè)備制造理想之選-西特Model730真空計(jì), 不受被測(cè)混合氣的影響,這使其精度優(yōu)于間接測(cè)量型壓力計(jì)。

  ALD科普((ALD)原子層沉積設(shè)備制造理想之選-西特Model730真空計(jì)):ALD—Atomic Layer Deposition原子層沉積,是在基底材料表面制備原子級(jí)別的沉積層,這種沉積技術(shù)可廣泛服務(wù)于各類半導(dǎo)體、光學(xué)、光電和電池材料的研究,且已經(jīng)在相當(dāng)多的IC器件、MEMS、傳感器等生產(chǎn)工藝中發(fā)揮了巨大的效用。相較于CVD(化學(xué)氣相沉積)技術(shù),ALD提供了更為**的沉積層—自飽和的表面產(chǎn)物,厚度可控制在只有一層原子。如果說CVD是在地面攤了一層水泥砂漿,ALD則是把水泥、砂分別均勻上乘的涂敷在了材料上,沒有任何瑕疵。這種更為精準(zhǔn)的層沉積技術(shù)為材料帶來(lái)的性能提升是不言而喻的。比如借助這種技術(shù)處理過的光電材料可使*終的光電轉(zhuǎn)換效率提升超過10%。用于FPD等光學(xué)顯像玻璃時(shí),可使成品亮度、對(duì)比度等關(guān)鍵性能大幅度提升。

  (ALD)原子層沉積設(shè)備制造理想之選-西特Model730真空計(jì)屬于西特壓力傳感器(Setra真空計(jì))。



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