壓力傳感器中常見的MEMS技術(shù)
壓力傳感器用于工業(yè)市場的各種應(yīng)用。技術(shù)的不斷進步使這些傳感器能夠?qū)崿F(xiàn)新的應(yīng)用,而不僅僅是在流體壓力檢測等傳統(tǒng)應(yīng)用中的使用?,F(xiàn)在,新型低功耗傳感器技術(shù)的出現(xiàn)使更小的尺寸、更多的功能、更實惠、應(yīng)用更廣的傳感器可以被人應(yīng)用到物聯(lián)網(wǎng)等新型產(chǎn)業(yè)中。
其中微機電傳感器(MEMS)技術(shù)被許多現(xiàn)代壓力傳感器廣泛使用。它可以被應(yīng)用到水罐的水位檢測。該系統(tǒng)在許多設(shè)備中都很常見,例如洗衣機、呼吸設(shè)備、咖啡機等。 這種MEMS傳感器方法特別適用于需要自動化測量的物聯(lián)網(wǎng)設(shè)備。當(dāng)液體難以接近,而無法使用量油尺或目視浮標(biāo)進行測量的應(yīng)用就非常適合這些傳感器。 MEMS壓力傳感器使用單個絕dui(大氣壓)壓力傳感器檢測水位,通過插入流體中的管子連接到傳感器,且MEMS傳感器必須位于被測流體的上方。 液體部分填充管道,用液體代替空氣,迫使空氣流向壓力傳感器。傳感器不需要接觸液體并通過管中的空氣壓力來測量它。理論上它與容易中的液體量有關(guān),容器中的液體越多,那么管中的壓力就越高。
此外,壓力傳感器也可以用于無人機或機器人。無人機可以通過測量氣壓等方式來測量高度,由于現(xiàn)代傳感器的高精度性和抗振性,一般精度可達到幾厘米。在飛機起飛降落時傳感器可以遠(yuǎn)程信息處理,例如當(dāng)機艙門關(guān)閉時,飛機內(nèi)瞬時壓力變化可以被檢測。(德魯克大氣數(shù)據(jù)測試儀作為一款可以測量空速、空壓的壓力傳感器,它可以被應(yīng)用在飛機上且精度高、性能強大)